摘要：
光波导器件在许多领域都有着广泛的应用和良好的发展前景。而波导器件表面粗糙度影响传输光损耗和环形腔Q值，制约光波导器件的发展和应用。目前常用波导器件表面和侧壁光滑化方法有热氧化法、激光束法和氢退火法，其中氢退火法有较好的光滑化效果，但对于氢退火工艺的机理并不清楚，无法进一步优化实验参数，达到最佳实验效果。在对上述内容进行{{@@@keyword0@@@}}的基础上，通过Materials Studio仿真分析，初步研究了退火机理，基于仿真研究结果，分析氢气环境对退火过程的意义，为应用氢退火工艺对波导器件光滑化实验提供理论指导。
关键词：光波导；光滑化；氢退火；表面粗糙度；光波导器件
中图分类号：TN305.2文献标志码：A
Abstract：
Optical waveguide devices are widely used in many fields and have good development prospects. But surface roughness of waveguide device induces a passive effect on the light transmission loss and the Q value of ring cavity， which restricts the development and applications of optical waveguide devices. Currently， the common used surface and side wall smoothing methods for waveguide devices are the thermal oxidation method， laser beam method， and hydrogen annealing method， and the surface hydrogen annealing method has better smoothing effect. However， the mechanism of hydrogen annealing method is still not clear so far， thus the experimental parameters cannot be further optimized to obtain optimal experimental result. Based on the review of the contents mentioned above， the hydrogen annealing mechanism is primarily studied through the simulation analysis by Materials Studio， which provides theoretical foundation and guidance for smoothing of waveguide device by hydrogen annealing technology.
Keywords：optical waveguide； smoothing； hydrogen annealing； surface roughness； optical waveguide devices
1光波導研究意义
随着微系统集成制造技术与微小型光电器件的发展，光波导器件将向纳米量级发展，以满足大规模、高集成光电器件的需求。光波导是光透明介质构成传输光频电磁波的导行结构，在不同折射率的介质界面上，电磁波的全反射将光波局限在波导及周围有限区域内传播，该特性使得光波导在通信领域有着广泛的应用。作为典型的波导结构，高品质因数利用波导互连，多路波分复用技术、高输出功率： .
[22]张在珍，张兆贵. 基于拉曼光谱的类金刚石薄膜的热稳定性研究[J]. 河北工业科技， 2014， 31（4）： .
ZHANG Zaizhen， ZHANG Zhaogui. Thermal stability study of diamondlike carbon thin films by using Raman spectroscopy [J]. Hebei Journal of Industry Science and Technology， 2014， 31（4）： .
[23]段倩倩， 唐海泉， 任馨宇， 等. 硅氫键对波导表面光滑化影响的仿真研究[J]. 红外与激光工程， 2016， 45（8）：.
查看全文
false