[摘要]近年来，激光测量干涉技术的研究受到越来越多的重视，特别是随着现代工程技术的飞速发展，高精度的低频微小振动测量已经成为目前工业和科学发展中迫切需要解决的问题。在综合考虑了众多高精度测量方法的基础上，本文提出了一种用于激光测量干涉技术的改进型迈克耳逊激光干涉仪。
[关键词]激光干涉 振动测量 载波调制 相位跟踪
激光干涉测量法是以激光干涉原理为基础进行测量的一种光学测量方法，与一般的光学测量方法相比，激光干涉测量法具有更高的测试灵敏度和准确度。根据实际的应用情况选择适合的调制解调方法还可以提高激光干涉测量的测试分辨率和稳定性。因而，激光干涉测量技术成为高精度测量的广泛应用技术。
一、激光干涉测量法国内外研究现状
激光干涉测量法理论上具有极高的分辨率，但是由于测量精度受诸多因素的影响，使得理论与实践之间还存在较大的差距。因此，它的设计和研究成为非常活跃的领域，出现了不同的测量原理和方案。常见的高精度激光干涉测量法包括：零差激光干涉法、外差激光干涉法。
1.零差激光干涉法
零差激光干涉法是干涉光路中信号光频率与参考光频率相等，并通过定的光学器件使信号光束与参考光束相遇叠加而产生干涉的测量方法。零激光干涉仪具有灵敏度和精度高、结构紧凑、装置相对简单、成本较低和有限制反射镜运动速度的因素等优点，而被广泛地应用于高精密测量。而对环境条件的要求较高，限制了它的实际应用。为了提高它的抗干扰能力推广其使用范围，研究开发出了各种基于零差激光干涉法的解调方法。
零差激光干涉法的研究主要集中在环境误差补偿和非线性修正方面：环境误差补偿是为了抑制空气扰动、折射率波动、工作台振动等环境噪声的干扰。提高系统的分辨率、重复精度，主要采用双干涉自补偿法、多点检测线性拟合技术和共模抑制等技术实现环境误差补偿；非线性修正是为了补偿或校正干涉仪的光学和电学等非线性环节，改善系统线性度、重复精度等，主要采用增加并行相位检测电路或光路的方法，或者用设计补偿光路或对测试数据进行数学模型补偿的方法消除非线性误差。随着科学技术的发展，对激光干涉测量的测量精度有越来越高的要求，环境误差补偿和非线性修正仍然是单频激光干涉仪的主要研究内容。
2.外差激光干涉法
外差激光干涉测量是利用载波技术将被测物理量信息转换成调频或调相信号的高精度测量方法，具有抗干扰能力强、测量速度快、信噪比高、易于实现高测量分辨率等特点。实现外差千涉的方法主要有：.
［6］高赛，殷纯永.高测速双频激光干涉仪.光学技术，2001.
（作者单位：浙江理工大学机控学院）
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